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新材料与先进制造研究所——电子束纳米探针台

推送用时:2021年06月21日 16:12

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光电束納米检测器台

品牌型号

规格型号

功能

葛兰帕AC-AFM    

25.4 x 25.4 x 6.35 mm
  400xZoom,2μm resolution,配备5倍长焦透镜,可以实现2000倍光学分辨率
  Z 轴分辨率(噪音水平): 0.035nm
  XY 轴分辨率(噪音水平) :0.3nm
  XY 电子分辨率:0.01nm,XY 非线性度:1%
  1 轻敲模式(vibration mode)
  2 接触模式 (Contact mode)
  3 相位成像模式 (Phase imaging)
  4 横向力模式 (Lateral force Microscopy LFM)
  5 力曲线测试(Force curve)
  6 纳米操控 (nanomanipulation)
  7 纳米刻蚀 (nanolithography)
  8 力矩阵模式 (Force Mapping)
  9 摩擦力测试 (Friction Mode)
  具有多功能MEMS探针夹持器,可以使用self-sensor系列的探针,或定制的MEMS镊子等芯片实现高精度纳米探针探测系统数据连接接口USB输出
   

 电子器件束nm电极台都是款符合高定位精度的扫锚nm数据数据分析器材。可争对打样定制外壁滑度包扩打样定制微纳撸点制定一些数据数据分析,且会常用打样定制大小不一至更大 25.4mm X 25.4mm X 6.35mm,并常使用在各个标准规定尽寸电极。在常规检查使用因素包扩:外壁形貌的影像——常情况报告下,外壁功能的影像会强劲有力地请求验证一些测试的操作步骤需不需要早以有用地完毕,对于那些在晶圆制作工艺中多惨遭的超平打样定制而能提供了较弱的相比度;外壁滑度/线条量测——作为一个可使用在nm级外壁滑度量测的器材,再搭配上应适当的防爆隔热罩,会对外壁线条低至 0.1 nm的打样定制通过量测;台级程度量测——会不错地使用在台级程度量测,可对从   0.3 nm至 500 nm的台级程度制定一些量测。
 技术性规格服務方向: 微纳制做与定量分析标准:新食材与一流打造学习所找话题人:彭瑞光   链接办法:010-66024728,18810461891测试仪器优势地:深圳市海淀区丰贤东路7号院11号楼
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