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新材料与先进制造研究所——电子束纳米探针台

发布公告时期:202历经四年06月21日 16:12

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电子无线束纳米级测试探针台

品牌型号

规格型号

功能

葛兰帕AC-AFM    

25.4 x 25.4 x 6.35 mm
  400xZoom,2μm resolution,配备5倍长焦透镜,可以实现2000倍光学分辨率
  Z 轴分辨率(噪音水平): 0.035nm
  XY 轴分辨率(噪音水平) :0.3nm
  XY 电子分辨率:0.01nm,XY 非线性度:1%
  1 轻敲模式(vibration mode)
  2 接触模式 (Contact mode)
  3 相位成像模式 (Phase imaging)
  4 横向力模式 (Lateral force Microscopy LFM)
  5 力曲线测试(Force curve)
  6 纳米操控 (nanomanipulation)
  7 纳米刻蚀 (nanolithography)
  8 力矩阵模式 (Force Mapping)
  9 摩擦力测试 (Friction Mode)
  具有多功能MEMS探针夹持器,可以使用self-sensor系列的探针,或定制的MEMS镊子等芯片实现高精度纳米探针探测系统数据连接接口USB输出
   

 电子厂束納米检测器台不是款必备条件高定位精度的检测納米概述校正机器设备。可对於样机表层模糊度或样机微纳规格外形尺寸试行概述,且能兼容样机面积大小至上限 25.4mm X 25.4mm X 6.35mm,并不适中用常见规格外形尺寸检测器。在一般软件各方面是指:表层形貌的三维显像——一般是情形下,表层特性的三维显像能强而有力地帮忙认定一家研究使用时候会不会悄然可以有效地结束,谈谈在晶圆新工艺中过于频繁地遭到的超平样机若为带来了很强的差距度;表层模糊度/纹理素材素材校正——作为一个可中用納米级表层模糊度校正的校正机器设备,再搭配上正确的防火隔音降噪的罩,能对表层纹理素材素材低至 0.1 納米的样机使用校正;梯步极度校正——能优异地中用梯步极度校正,可对从   0.3 納米至 500 納米的梯步极度试行校正。
 工艺叁数产品这个领域: 微纳营造与分析方法机关单位:新建筑材料与最先进打造研究方案所找话题人:彭瑞光   链接的方法:010-66024728,18810461891议器所处地:重庆市海淀区丰贤西路7号院1号楼
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